光刻机作为芯片制造的核心设备之一，其对芯片生产的工艺有着十分重要的影响。正因为此，荷兰光刻机智造商阿斯麦通研制的EUV光刻机才会有钱难求。

　　很多人都对光刻机有所耳闻，但其实不同光刻机的用途并不一样。像上文提及的EUV光刻机则是用于生产芯片的光刻机，此外还有封装芯片的光刻机以及用于LED制造领域的投影光刻机。

　　近几年，我国本土企业在光刻机的研制方面正一步一个脚印地稳步前进，拿上海微电子装备股份有限公司来说，近几年，其先后推出了IC前道制造光刻机SSX600系列光刻机、IC后道先进封装SSB500系列光刻机、LED制造SSB300系列光刻机、TFT曝光SSB200系列光刻机。

　　划重点，上海微电子装备股份有限公司是咱同茂的合作客户，先后多次从我司购入高性能音圈电机模组用于产品中，那音圈电机模组在光刻机中具体作用是什么？音圈电机模组 主要用于光刻机掩模台系统，在该系统中音圈电机模组运动工况分为扫描运动和定位运动，其中扫描运动主要完成硅片曝光处理，该运动对定位精度以及速度稳定性有非常高的要求，在稳定基础上追求时间的优化。音圈电机模组系统具有较低的阻尼比，是光刻机很重要的要件。

　　昆山同茂电子有限公司深耕音圈电机模组 领域十余年，同茂造音圈电机模组均采用全新通用化设计，模块化结构集成音圈电机，具有高度的灵活性，适用于各种控制方式。

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